Chambre de chargement laser

 

Nous démontrons le contrôle de la pression dans la chambre de chargement laser afin d'obtenir un résultat similaire. Un système de contrôle de pression KLPV-MN à trois stations (montage sur collecteur) régule trois gaz différents vers un orifice fixe (et connu). En faisant varier la pression appliquée à ces orifices, le débit peut être ajusté de manière prévisible et reproductible. Dans cette application, un régulateur de pression électronique QKL contribue également au mélange en contrôlant un niveau de vide précis dans la chambre de chargement. Le QKL peut également être utilisé pour contrôler le niveau de vide.

Notre régulateur de pression proportionnel est parfaitement adapté à cette application grâce à son débit élevé, son temps de réponse rapide et sa grande précision. Nos régulateurs permettent une modulation de 2 à 65 bars avec une précision de 0,25 % de la pleine échelle. (Une plage de pression supérieure est disponible sur demande.)

Le régulateur de pression électronique QKL peut remplacer directement :
Proportion Air ( QB3H, QBS, GX, QBX, QPV, QB2 ), Festo ( VPPM, VPPL, VPPE, VEAA, VEAB, VEMD ), SMC (ITV1000, ITV2000, ITV3000), Clippard (Cordis) et ASCO (Sentronic)