Contrôleur de débit d'air en boucle fermée


La série FC1500AKMF1000 comprend une vanne de régulation de débit proportionnelle FC1500 et un débitmètre de gaz MEMS. La FC1500 est une vanne à pointeau de haute précision, actionnée par un moteur pas à pas à micro-pas. Son rapport de réduction peut atteindre 400:1, avec une précision, une répétabilité et une hystérésis élevées. La vanne FC est compatible avec l'air, l'eau et l'huile. Elle est disponible avec un joint torique en Viton ou FFKM et son corps peut être en aluminium ou en acier inoxydable.

Le débitmètre de gaz MEMS se caractérise par un temps de réponse rapide et une grande précision. Compatible avec l'air, il est étalonné automatiquement. Il offre un signal de sortie d'une stabilité exceptionnelle et une faible consommation d'énergie. Associé à une vanne FC, il permet un contrôle précis et performant des débits élevés.

Tous nos produits sont certifiés CE, SGS et RoHS et conformes au système de qualité ISO13485.


Caractéristiques

  • Compact
  • Haute précision
  • Haute sensibilité
  • Haute résolution

application industrielle

  • Équipements semi-conducteurs
  • Machines de refroidissement
  • Contrôle dynamique du débit


Taper FC1500AKMF
Plage de débit (SLPM) 0-25 / 0-50 / 0-250 / 0-1000
Pression maximale 5 bars (72,5 psig)
Signal d'entrée 0-10 V / 0-5 V / 4-20 mA / RS485
Sortie du moniteur 1-5V / RS485
Alimentation (Vcc) 24 Vcc (12 W)
Moyen Air comprimé propre ou avec filtre de 5 µm
Précision ±1,5 % FS
Répétabilité 0,025%
Résolution de la vanne 0,5 L/min
*Pression d'entrée 1 bar (14,5 psi)
Taux de réduction 100:1
Afficher SLPM (Débit instantané) / SL (Débit cumulé)
Temp. 10~65℃ (Fluide)
-25~85 ℃ (ambiant)
Port G3/8"
Matériau de collecteur Aluminium
Matériaux mouillés Aluminium, Viton
Raccordement électrique EDZ1550/4
Étalonnage Air, 20℃, 101,325 kPa