Débitmètre massique de gaz MEMS 0-2000 L/min

Le débitmètre massique de gaz numérique de la série KMF1000 est composé d'une puce de détection de débit à système micro-électromécanique (MEMS), adaptée à diverses applications de mesure et de contrôle de processus de gaz à faible débit dans des environnements propres et relativement secs. Sa technologie d'encapsulation unique permet au produit de répondre à différentes plages de mesure de débit, garantissant une sensibilité élevée, une grande fiabilité, une grande stabilité et un faible coût.

Ce dispositif repose sur un capteur de débit MEMS et un circuit de traitement et d'étalonnage numérique de haute précision (MCU). Le convertisseur A/D Δ-Σ intégré, le circuit logique doté d'une fonction d'étalonnage interne et le processeur MCU assurent conjointement l'acquisition efficace en temps réel du signal de détection, permettant ainsi d'obtenir un signal de débit précis. Le traitement de l'algorithme de compensation correspondant est effectué en interne, ce qui élimine le besoin d'un étalonnage et d'une compensation externes pour garantir une haute précision.